客户案例

Kayex公司创建于20世纪50年代，是世界领先的半导体级和太阳能级硅、锗提拉单晶生长炉设备供应商。

详细了解 KAYEX公司利用专业化软件FEMAG优化晶体生长工艺及先进热场开发

在提拉法（Czochralski，Cz）生长过程中，热场、熔体-晶体界面形状、坩埚中的熔体流动对微缺陷的形成以及晶体的质量有着显著的影响。数值模拟技术，是改善晶体质量、控制工艺参数以及优化Cz生长系统的有效途径。

详细了解 FEMAG软件助力日本九州大学深入开展晶体生长数值模拟研究

硅单晶炉的热场主要由导流筒、各种石墨件、加热器及保温材料等成套部件构成。

详细了解上海大学利用FEMAG软件优化保利协鑫直拉硅单晶过程的热场功耗

公司主营区熔硅单晶（片）；直拉硅单晶（片）四大系列产品，是国内硅材料产品品类最齐全的厂家之一。

详细了解天津环欧半导体引进FEMAG改善生产工艺

布里奇曼晶体生长法，一种常用的晶体生长方法，用于生长晶体的材料装在圆柱型的坩埚中，缓慢地下降，并通过一个具有一定温度梯度的加热炉，炉温控制在略高于材料的熔点附近

详细了解格勒诺布尔工业技术研究所利用FEMAG软件改进布里奇曼晶体生长工艺

在直拉法生长硅单晶的过程中，硅单晶生长的成功与否以及质量的高低是由热场的温度分布决定的。温度分布合适的热场，不仅硅单晶生长顺利，而且品质较高；

详细了解西安理工大学利用FEMAG软件优化单晶炉的热场设计

大直径硅片极大的降低了IC制造的生产成本，但在大直径直拉硅中形成的微缺陷会影响金属——氧化物——半导体(MOS)器件的栅极氧化层完整性(GOI)，从而影响半导体器件的电学性能。硅单晶中的微缺陷会影响集成电路的成品率。

详细了解北京有色金属研究总院利用FEMAG软件改进300mm直拉单晶硅的微缺陷

区域熔炼法，又称区域提纯，主要用以提纯金属、半导体。基本过程是将材料制成细棒，用高频感应加热，使一小段固体熔融成液态。熔融区慢慢从放置材料的一端向另一端移动。

详细了解利用FEMAG软件改进区域熔炼法生长锗单晶的工艺

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