客户案例
格勒诺布尔工业技术研究所利用FEMAG软件改进布里奇曼晶体生长工艺
布里奇曼晶体生长法,一种常用的晶体生长方法,用于生长晶体的材料装在圆柱型的坩埚中,缓慢地下降,并通过一个具有一定温度梯度的加热炉,炉温控制在略高于材料的熔点附近
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西安理工大学利用FEMAG软件优化单晶炉的热场设计
在直拉法生长硅单晶的过程中,硅单晶生长的成功与否以及质量的高低是由热场的温度分布决定的。温度分布合适的热场,不仅硅单晶生长顺利,而且品质较高;
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北京有色金属研究总院利用FEMAG软件 改进300mm直拉单晶硅的微缺陷
大直径硅片极大的降低了IC制造的生产成本,但在大直径直拉硅中形成的微缺陷会影响金属——氧化物——半导体(MOS)器件的栅极氧化层完整性(GOI),从而影响半导体器件的电学性能。硅单晶中的微缺陷会影响集成电路的成品率。
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利用FEMAG软件改进区域熔炼法生长锗单晶的工艺
区域熔炼法,又称区域提纯,主要用以提纯金属、半导体。基本过程是将材料制成细棒,用高频感应加热,使一小段固体熔融成液态。熔融区慢慢从放置材料的一端向另一端移动。
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